Nqus magnetron sputtering txheej txheem yog siv cov poj niam, bipolar electrode nto nrog lub magnetic teb ntawm electron nyob rau hauv lub cathode nto drift, los ntawm kev teeb tsa lub hom phiaj nto hluav taws xob teb perpendicular mus rau magnetic teb, lub electron tsub kom stroke, nce tus nqi ntawm ionization. ntawm cov pa roj, thaum lub siab-zog particles roj thiab poob lub zog tom qab kev sib tsoo thiab thiaj li qis substrate kub, ua tiav txheej ntawm cov khoom tsis kub-resistant.